金屬鍍膜電子束蒸發台

金屬鍍膜電子束蒸發台是一種用於信息科學與系統科學、電子與通信技術領域的工藝試驗儀器，於2016年4月4日啟用。

基本介紹

• 中文名：金屬鍍膜電子束蒸發台
• 產地：中國
• 學科領域：信息科學與系統科學、電子與通信技術
• 啟用日期：2016年4月4日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 汽車工藝實驗設備 > 紅外線汽車排氣分析儀

技術指標

金屬鍍層厚度、均勻性。

主要功能

電子束蒸發系統是化合物半導體器件製作中的一種重要工藝技術；它是在高真空狀態下由電子束加熱坩堝中的金屬，使其熔融後蒸發到所需基片上形成金屬膜。可蒸發很多難熔金屬或者蒸汽壓低的金屬材料，包括Ta, W, Mo, Rh, C, B, Pt, Al2O3, ZnO, Pr2O3…。