真空電子束蒸發鍍膜儀

真空電子束蒸發鍍膜儀是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2014年07月02日啟用。

基本介紹

• 中文名：真空電子束蒸發鍍膜儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2014年07月02日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 加工工藝實驗設備

技術指標

直徑4英寸基片，片內均勻性優於±3%，片間均勻性優於±2%，重複性優於±2%。

主要功能

蒸發沉積各種金屬和介質。