超高真空電子束多腔蒸發鍍膜系統

超高真空電子束多腔蒸發鍍膜系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2013年11月6日啟用。

基本介紹

• 中文名：超高真空電子束多腔蒸發鍍膜系統
• 產地：法國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2013年11月6日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

蒸發室和氧化室真空度可以達到1E-9 Torr的級別。生長的鋁膜製備的共面波導超導諧振腔的Q值平均值為50萬。

主要功能

電子束蒸發高質量鋁膜。