真空電子束鍍膜機

真空電子束鍍膜機

真空電子束鍍膜機是一種用於信息與系統科學相關工程與技術領域的工藝試驗儀器,於2018年3月6日啟用。

基本介紹

  • 中文名:真空電子束鍍膜機
  • 產地:中國
  • 學科領域:信息與系統科學相關工程與技術
  • 啟用日期:2018年3月6日
  • 所屬類別:工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備
技術指標,主要功能,

技術指標

極限真空度:2.0×10-6Pa; 陽極電壓:6KV;束流範圍:0-750mA;啟動真空度:6.7×10-3Pa。

主要功能

採用E型電子槍聚焦蒸發方式鍍膜。適用於鍍制納米結構的金屬膜、半導體膜、磁性膜、介質膜等,可鍍單層膜、多層膜。

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