高真空多腔室電子束蒸發製備約瑟夫森結機

高真空多腔室電子束蒸發製備約瑟夫森結機是一種用於電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2018年7月10日啟用。

基本介紹

• 中文名：高真空多腔室電子束蒸發製備約瑟夫森結機
• 產地：法國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2018年7月10日
• 所屬類別：電子測量儀器

技術指標

真空度10-10 Torr或10-11 Torr。

主要功能

高真空態分析。