電子束鍍膜機是一種用於機械工程領域的分析儀器，於2013年10月31日啟用。
基本介紹
- 中文名：電子束鍍膜機
- 產地：加拿大
- 學科領域：機械工程
- 啟用日期：2013年10月31日
- 所屬類別：分析儀器 > 波譜儀器 > 核磁共振波譜儀
技術指標,主要功能,
技術指標
技術指標: 1、真空腔室：寬約400mm，深約400mm，高約500mm，腔室表面做拋光處理。2、真空系統：帶有自動切換功能及互鎖機構。3、 電子槍： 有自動的控制和匹配單元。4、鍍膜控制單元：可以實現共蒸控制；可以儲存100個蒸鍍過程和1000個膜層信息；可以外接電腦，通過電腦對系統進行控制，實驗數據可通過USB連線埠導入電腦。5、樣品台：真空腔室頂部安裝有樣品台控制裝置，可以固定、安裝直徑150mm的樣品，樣品台帶有旋轉功能，速度可調，0-50轉/分鐘；帶有樣品台加熱功能，最高溫度可達400℃；石英燈紅外升溫及PID控溫裝置。
主要功能
主要用途: 用於薄膜的製備，並可用於光學儀器的寬頻減反射膜、雷射硬膜反射鏡以金屬矽化物（Pd2Si, PtSi,IrSi）肖特基勢壘紅外CCD研製中矽化物薄膜，SiO2，SiO增透膜，鋁薄膜以及大規模積體電路中的鋁矽合金膜等；並可用於從事高熔點氧化物、金屬材料薄膜的製備。
