TDM-300石英晶體膜厚儀

基本信息

TDM-300膜層監控儀適用於高頻濺射、直流濺射、電阻蒸發、離子束、電子束等鍍膜套用場合，可對共沉積鍍膜進行多源同步監控，或對大面積鍍膜進行多點監控。

儀器提供了完備的監測和控制功能, 具有高速高精度測量系統，保證鍍膜的質量和重複性。通過液晶顯示屏使您能連續獲取沉積數據，包括沉積速率、厚度和晶片頻率。更可通過計算機得到實時數據及動態和靜態數據曲線，方便用戶對工藝過程進行分析。

▲ 適用於多種鍍膜套用

TDM-300膜層監控儀可對最多六個沉積源同時進行監控。既可套用於對大面積鍍膜進行多點監控，監控鍍膜均勻性；也可用於監控共沉積鍍膜，而且用戶可以編輯含有若干共沉積層和單一材料層的膜系；還能作為多台順序沉積監控儀使用。

▲ 多監控

可以對連續鍍膜以自動或手動兩種方式進行監控。

▲多源監測

可同時或分別監測二、四或六個沉積源。用戶可根據實際需要進行選型。

▲系統接口

具有一組共二、四或六個輸出接口，可分別控制二、四或六個源擋板。用戶可根據實際需要

進行選型。

▲高精度

具有高速高精度測量系統，保證鍍膜的質量和重複性。

▲數據存儲

提供了較高的數據存儲能力,可存儲99個膜層，並內置256種材料參數方便用戶使用。

▲中文界面

TDM-300膜層監控儀採用全中文人機操作界面,易於使用。

▲通用標準配置

有適配電纜，易於安裝至現有的裝置中，方便替換同類產品。

規格

測量

頻率計算精度　0.1Hz/0.03Hz(在6.0MHz頻率時)

頻率顯示精度　0.1Hz

測量速率　10Hz

顯示

厚度顯示　000000A～999999A

速率顯示　000.0～999.9A/s

時間顯示　00:00:00～23:59:59（時:分:秒）

層數　01～99層

圖形顯示　240x64LCD，低功耗LED背光（TDM-200 PRO）

320x240LCD,低功耗LED背光（TDM-300）

存儲能力

層　99層

材料庫 已定義256種材料

膜層參數

層次　01～99

終厚　000000～999999埃

材料　分子式

密度　00.00～99.99g/cm3

工具因子　00.00～99.99