雷射器腔面鍍膜機

雷射器腔面鍍膜機是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2016年12月05日啟用。

基本介紹

• 中文名：雷射器腔面鍍膜機
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2016年12月05日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

鍍膜均勻性：卡具上片內均勻性優於+/-0.5%。

主要功能

電子束蒸發方法鍍氧化矽、氧化鈦、氧化鋁。