多功能離子鍍膜機

多功能離子鍍膜機是一種用於物理學領域的分析儀器，於2008年9月3日啟用。

基本介紹

• 中文名：多功能離子鍍膜機
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2008年9月3日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

電子束電流200A，50V，磁控濺射5A，1000V，陰極電弧200A，60V。

主要功能

用於功能薄膜的沉積和材料改性。