KyKy多功能真空離子鍍膜機是一種用於工程與技術科學基礎學科、測繪科學技術領域的分析儀器，於2005年11月14日啟用。
基本介紹
- 中文名：KyKy多功能真空離子鍍膜機
- 產地：中國
- 學科領域：工程與技術科學基礎學科、測繪科學技術
- 啟用日期：2005年11月14日
- 所屬類別：分析儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
鐘罩尺寸：內徑Φ250mm×高度340mm 玻璃處理室：內徑Φ88mm×高度140mm 內徑：Φ88mm×高度57mm 試樣台尺寸：Φ40mm（最大） 金靶尺寸：Φ38mm 真空度：優於2×10-3Pa 試樣運動方式：平面轉動、傾斜旋轉、傾斜進動 真空系統：分子泵、機械泵組成的高真空機組 真空檢測：熱偶計、冷規。
主要功能
離子噴塗、離子濺射、離子清洗、真空蒸碳、真空蒸金屬。
