全自動電弧離子鍍膜機

全自動電弧離子鍍膜機是一種用於機械工程領域的儀器，於2016年5月3日啟用。

基本介紹

• 中文名：全自動電弧離子鍍膜機
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2016年5月3日

技術指標

極限壓強：優於5×10-4Pa； 抽速：大氣到5×10-3Pa抽氣時間小於25分鐘 升壓率：≦0.4Pa/hr 可實現膜層類型： 氮化物(TiN、CrN、ALTiN) 含矽氮化物(ALCrSiN) 含氧氮化物（摻氧CrN、ZrBON）。

主要功能

用於各種新型多功能塗層的研發及小批量試製。