箱式電子束鍍膜系統是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2014年9月10日啟用。
基本介紹
- 中文名：箱式電子束鍍膜系統
- 產地：中國
- 學科領域：材料科學
- 啟用日期：2014年9月10日
- 所屬類別：分析儀器 > 樣品前處理及製備儀器 > 旋轉薄膜蒸發儀
技術指標,主要功能,
技術指標
製備膜層厚度精度＜2%。
主要功能
製備薄膜樣品。
箱式電子束鍍膜系統
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