電子束-熱阻真空鍍膜機

電子束-熱阻真空鍍膜機是一種用於物理學、化學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2011年3月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：電子束-熱阻真空鍍膜機
• 產地：德國
• 學科領域：物理學、化學、材料科學
• 啟用日期：2011年3月1日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

極限真空度5×10↑-6mbar；電子束和熱阻兩種方式；中心Z測量面積內膜厚平均不均勻性不超過±5.0％；3KVA。

主要功能

可進行可控厚度薄膜的沉積。