電子束熱蒸發鍍膜機是一種用於物理學、材料科學、機械工程領域的計量儀器，於2015年1月27日啟用。
基本介紹
- 中文名：電子束熱蒸發鍍膜機
- 產地：中國
- 學科領域：物理學、材料科學、機械工程
- 啟用日期：2015年1月27日
- 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器 > 雙頻雷射干涉儀
技術指標,主要功能,
技術指標
腔體尺寸：600mm(直徑)×700mm(高);前級乾泵加低溫泵真空系統，30分鐘以內抽進10-4Pa，極限真空小於5x10-5Pa;樣品托盤6寸矽片向下兼容，至少裝載4寸3片或6寸;坩堝數量6個，單個容積不小於20cc;樣品最高轉速大於等於25rpm;最高溫度大於等於300度，溫度均勻性5%;鍍膜速率可調節至0.1-10°/s精確可控;鍍膜過程中速率波動≤±5%;金屬膜的厚度均勻性低於5%;離子源陽極功率大於等於200W。
主要功能
主要用於微機械感測器研製過程中的多層金屬膜的沉積工藝，工藝邊界為：前道工藝通常為旋塗有光刻膠或者聚醯亞胺的平面，後續工藝主要為金屬剝離工藝（lift-off）。
