半自動電子束鍍膜機

半自動電子束鍍膜機是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2011年07月15日啟用。

基本介紹

• 中文名：半自動電子束鍍膜機
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2011年07月15日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

極限真空：抽真空5小時後，可達 Pa；恢復真空：從 Pa至 Pa 約15min；烘烤溫度：最高溫度350℃；工件架旋轉：轉速5~25rpm可調。

主要功能

主要用於多層光學薄膜的實驗製備。採用觸控螢幕和可程式控制器（PLC），配合IC-5晶控儀實現全自動控制及部分手動控制。可製備各種減反膜、反射膜、分光膜、截止濾光膜、帶通濾光膜等光學薄膜元器件。