高真空蒸發鍍膜系統是一種用於信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器,於2015年10月10日啟用。
基本介紹
- 中文名:高真空蒸發鍍膜系統
- 產地:中國
- 學科領域:信息科學與系統科學
- 啟用日期:2015年10月10日
- 所屬類別:工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電子產品通用工藝實驗設備
高真空蒸發鍍膜系統是一種用於信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器,於2015年10月10日啟用。
高真空蒸發鍍膜系統是一種用於信息科學與系統科學領域的工藝試驗儀器,於2015年10月10日啟用。技術指標有機小分子與金屬分為兩個蒸發腔體。1主要功能蒸發電子器件功能薄膜。1...
蒸發鍍膜系統是一種用於數學領域的分析儀器,於2004年03月01日啟用。技術指標 極限真空5.0E-5Pa4英寸寸矽片表面膜厚均勻性小於5%電子槍最大功率 10kW最大電壓8kV襯底溫度最高可到350℃樣品台自轉速度最高可到20RPM蒸鍍速率: 0.1-...
高真空鍍膜系統是一種用於生物學領域的工藝試驗儀器,於2017年05月08日啟用。技術指標 真空度可快速達到0.0001帕以下; 真空艙可容納直徑6cm以上材料; 鍍膜範圍大於50mm; 同時包含碳蒸發和金屬投影兩項功能;。主要功能 碳蒸發與金屬...
超高真空電子束多腔蒸發鍍膜系統是一種用於物理學、材料科學領域的工藝試驗儀器,於2013年11月6日啟用。技術指標 蒸發室和氧化室真空度可以達到1E-9 Torr的級別。生長的鋁膜製備的共面波導超導諧振腔的Q值平均值為50萬。主要功能 電子...
高真空蒸發系統是一種用於物理學、電子與通信技術、材料科學領域的工藝試驗儀器,於2017年9月28日啟用。技術指標 電子束蒸發源:8kW,2MHz 晶圓尺寸:最大6英寸 真空度:10E-7Torr 蒸發物料:Ti、Au等 典型沉積速率:0.1-10A/s ...
真空鍍膜系統是一種用於化學領域的工藝試驗儀器,於2017年12月13日啟用。技術指標 有機蒸鍍腔體配備4個有機蒸發源,2個金屬蒸發源和3個探頭。金屬蒸鍍腔體配備4個金屬蒸發源和2個探頭。兩個鍍膜腔體配備高真空鍍膜系統真空系統,真空度...
真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,具體包括很多種類,包括真空電阻加熱蒸發,電子槍加熱蒸發,磁控濺射,MBE分子束外延,PLD雷射濺射沉積,離子束濺射等很多種。主要思路是分成蒸發和濺射兩種。簡介 需要鍍膜的被稱為基片...
1.蒸發系統 ①真空鍍金屬。是一種將蒸發物質加熱的方法。其中包括常用的電阻加熱法,電子束加熱法,高頻感應加熱法以及雷射光束加熱法等。②分子束蒸發法。在極高真空中分析其鍍膜的增長,並以單位原子層能級控制其鍍金屬膜的形成的方法...
(4)取件。膜層厚度達到要求以後,用擋板蓋住蒸發源並停止加熱,但不要馬上導入空氣。設備 真空蒸鍍裝置由真空抽氣系統和蒸發室組成。真空抽氣系統由(超)高真空泵、低真空泵、排氣管道和閥門等組成。此外,還附有冷阱(用以防止油...
真空有機蒸發鍍膜手套箱系統是一種用於電子與通信技術領域的科學儀器,於2017年10月25日啟用。技術指標 1.惰性氣體作業系統:水氧含量可維持在0.1ppm 2.真空熱蒸鍍系統:真空度可達1*10-6mbar。主要功能 1.可提供無水無氧的操作...
真空鍍膜是指在高真空的條件下加熱金屬或非金屬材料,使其蒸發並凝結於鍍件(金屬、半導體或絕緣體)表面而形成薄膜的一種方法。例如,真空鍍鋁、真空鍍鉻等。簡述 真空鍍膜是真空套用領域的一個重要方面,它是以真空技術為基礎,利用物理...
高真空磁控濺射與蒸發鍍膜裝置是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器,於2007年5月9日啟用。技術指標 系統極限真空:濺射室:系統經烘烤,可達1×10-5Pa(7.5×10-8Toor); 進樣室:經烘烤可達7×10-4Pa(5.2×10-6Toor)。
真空蒸發卷繞鍍膜機是一種用於物理學、力學、信息科學與系統科學、計算機科學技術領域的物理性能測試儀器,於2019年12月16日啟用。技術指標 1、卷膜條件: 卷膜有效幅寬 1050mm 卷膜最大直徑 ф400mm 卷繞芯軸直徑 ф100mm(3寸不鏽鋼芯...