電子束蒸發系統

電子束蒸發系統是一種用於材料科學領域的工藝試驗儀器，於2015年8月25日啟用。

基本介紹

• 中文名：電子束蒸發系統
• 產地：中國台灣
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2015年8月25日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 電真空器件工藝實驗設備

技術指標

極限真空:5.98E－5Pa;排氣時間:2.01E-4Pa(14min),1.45E-4Pa(29min);基板加熱溫度:MAX300℃;膜厚均勻性:片內3.66％，片間4.54％，爐間4.19％。

主要功能

金屬電極蒸鍍。