複合型蒸發系統

複合型蒸發系統是一種用於信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的工藝試驗儀器，產地為日本，於2013年8月9日啟用。

基本介紹

• 中文名：複合型蒸發系統
• 產地：日本
• 學科領域：信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學
• 啟用日期：2013年8月9日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備 > 半導體積體電路工藝實驗設備

技術指標

極限真空度≤1x10-5 Pa ;6個電子束蒸發工位，2個舟型熱蒸發工位；襯底採用紅外加熱，最高溫度≥150C；支持樣品尺寸：最大支持6英寸晶圓，可一次裝載5片6英寸樣品； 6英寸基片片內和同批次片間膜厚均勻性優於±5%。

主要功能

具備電子束蒸發和電阻加熱熱蒸發兩種蒸發模式，具有原位離子束清洗功能、襯底加熱等功能，用於金屬（Ti、Au、Ag、Al、Mo）和非金屬（SiO）薄膜生長。