有機柔性器件製備系統是一種用於物理學領域的儀器，於2018年11月15日啟用。
基本介紹
- 中文名：有機柔性器件製備系統
- 產地：中國
- 學科領域：物理學
- 啟用日期：2018年11月15日
技術指標,主要功能,
技術指標
電阻蒸發鍍膜室：極限真空：優於5.0×10-5Pa；(設備和手套箱分體，設備空載抽真空24小時)抽速：從大氣抽至10-4Pa≤40min；設備升壓率≤0.8Pa/h; 停泵關機12小時後真空度：≤10Pa；配置充氣保護角閥；六組蒸發源接口圓周均勻分布， 6組蒸發源擋板接口；源間防污隔板用於防止蒸發源之間相互污染；預留接口：四個（CF35,LF26），膜厚監控及拓展功能用； 電子束蒸發鍍膜室：優於5.0×10-5Pa； 抽速：從大氣抽至10-4Pa≤30min；設備升壓率≤0.8Pa/h；停泵關機12小時後真空度：≤10Pa；配置充氣保護角閥；電子束蒸發配備6坩堝電子槍一套；功率：8KW；。
主要功能
保證電阻熱蒸發室和電子束蒸發室均在手套箱內，樣品可在氮氣環境中傳遞，避免暴露大氣。實現對水氧敏感器件的製作。包括有機層的蒸鍍，金屬電極的蒸鍍，器件的封裝。如OLED，太陽能電池等的製作和封裝。
