磁控在蒸發複合鍍膜系統

磁控在蒸發複合鍍膜系統是一種用於信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學領域的工藝試驗儀器，於2018年5月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：磁控在蒸發複合鍍膜系統
• 產地：美國
• 學科領域：信息科學與系統科學、物理學、工程與技術科學基礎學科、材料科學
• 啟用日期：2018年5月31日
• 所屬類別：工藝試驗儀器 > 電子工藝實驗設備

技術指標

1、6英寸襯底薄膜均勻性：=5% 2、工藝腔真空度：=5.0e-7Torr，進樣室真空度：=5.0e-7Torr。

主要功能

具備射頻磁控、電子束蒸發、熱蒸發薄膜生長能力，配備原位膜厚儀，具備射頻反濺射清洗功能，樣品台水冷。