三維形貌儀

三維形貌儀是一種用於材料科學領域的分析儀器，於2016年3月7日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維形貌儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2016年3月7日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器 > 掃描電鏡

技術指標

1.雙LED光源（白光和綠光），工作模式分為VSI和PSI測試模式。垂直測量範圍：0.1nm至10mm，全量程閉環掃描，無需縫合拼接。垂直解析度：<0.1nmRa;RMS重現性：0.01nm；垂直掃描速度：優於47微米/秒；橫向解析度：最小0.08微米。2.樣品台傾斜角度調製範圍：不小於±6°；電動閉環控制樣品台，移動範圍150mm（xy軸）/100mm（z軸）；視場範圍：不小於8.24mm，更大面積可用縫合功能。3.台階測試精度：0.75%；反射率範圍：1%至100%；CCD解析度：1280*960像素。4.電動目鏡自動轉換器；目鏡：0.55倍，1倍；白光干涉物鏡:5倍，20倍，50倍。5.進口氣動懸浮減震台24英寸*24英寸；8微米標準樣品，帶VLSI標定證書。

主要功能

三位形貌儀主要用於薄膜材料、磨損體積和表面輪廓分析和測量。