三維白光干涉形貌儀

三維白光干涉形貌儀是一種用於數學領域的計量儀器，於2016年07月01日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維白光干涉形貌儀
• 產地：美國
• 學科領域：數學
• 啟用日期：2016年07月01日
• 所屬類別：計量儀器

技術指標

XYZ行程：200mmX200mmX100mmRMS重複精度：0.005nm垂直掃描範圍：0-20mm垂直掃描解析度：1nm最大縱向掃描速度：96um/secRa測量精度：≤0.1nm反射率要求：0.05%-100%顯微鏡鏡頭：2.75X，10X，50X，100X。

主要功能

非接觸式形貌儀，掃描速度快，圖像分析軟體強大。