光學輪廓儀是一種用於電子與通信技術領域的儀器，於2016年11月25日啟用。
基本介紹
- 中文名：光學輪廓儀
- 產地：中國
- 學科領域：電子與通信技術
- 啟用日期：2016年11月25日
技術指標,主要功能,
技術指標
1單次測量市場：最大可達16.8*16.8mm2工作距離：40mm3縱向掃描範圍：150um，最大可擴展到20mm。
主要功能
1微納結構的靜態三維形貌表征2器件輪廓動態變化的測量。
光學輪廓儀
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