三維光學表面輪廓儀

三維光學表面輪廓儀

三維光學表面輪廓儀是一種用於化學領域的分析儀器,於2018年12月31日啟用。

基本介紹

  • 中文名:三維光學表面輪廓儀
  • 產地:中國
  • 學科領域:化學
  • 啟用日期:2018年12月31日
  • 所屬類別:分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

測量光束直徑:6″;光路:菲索型,共光路;快速條紋採樣系統(QFAS) (雙光點定位於十字線);光學中心線:4.25″(108mm);雷射光源:氦-氖雷射,Ⅲa級;成像解析度優於 :1024x1024;。

主要功能

用於精密微納器件或元件表面輪廓、表面形貌以及表面平整度測量。

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