光學3D表面輪廓儀

光學3D表面輪廓儀是一種用於機械工程領域的計量儀器，於2019年11月5日啟用。

基本介紹

• 中文名：光學3D表面輪廓儀
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2019年11月5日
• 所屬類別：計量儀器 > 光學計量儀器

技術指標

1.光源：白光LED； 2.影像系統：1024*1024pixel； 3.物鏡塔台：3孔； 4.XY平台：尺寸320*200mm，行程140*100mm，手動電動兼容，閉環反饋控制； 5.傾斜調整：±4.5°手動； 6.Z向解析度：0.1nm； 7.Z向行程：100mm，電動，閉環反饋控制； 8.Z向掃描範圍：10mm； 9.粗糙度RMS重複性：0.005nm； 10.台階高精度：0.75%，重複性 0.1% 1σ； 11.可測樣品反射率：0.5%~100%。

主要功能

SuperView W1光學3D表面輪廓儀是一款用於對各種精密器件及材料表面進行亞納米級測量的檢測儀器。它是以白光干涉技術為原理、結合精密Z向掃描模組、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描並建立表面3D圖像，通過系統軟體對器件表面3D圖像進行數據處理與分析，並獲取反映器件表面質量的2D、3D參數，從而實現器件表面形貌3D測量的光學檢測儀器。