3D光學表面輪廓儀

3D光學表面輪廓儀

3D光學表面輪廓儀是一種用於機械工程領域的物理性能測試儀器,於2017年9月26日啟用。

基本介紹

  • 中文名:3D光學表面輪廓儀
  • 產地:美國
  • 學科領域:機械工程
  • 啟用日期:2017年9月26日
  • 所屬類別:物理性能測試儀器 > 光電測量儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

縱向掃描範圍:150 μm精密壓電陶瓷掃描,20mm擴展掃描;表面形貌重複性:<0.2nm;RMS重複性:0.01nm;採用 3D非接觸式測量。

主要功能

Zygo Newview型3D光學表面輪廓儀可以實現測試範圍從小於1納米到20000微米, NewView輪廓儀幾乎可以測量任何表面的形貌,從亞埃級的超光滑表面,到高達85度的大坡度機械件,全部採用3D、非接觸式測量,克服了探針式、共聚焦、聚焦掃描其它測量技術的缺點。

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