非接觸式表面輪廓儀

非接觸式表面輪廓儀是一種用於機械工程領域的物理性能測試儀器，於2011年09月08日啟用。

基本介紹

• 中文名：非接觸式表面輪廓儀
• 產地：中國
• 學科領域：機械工程
• 啟用日期：2011年09月08日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

1、計算機軟體控制樣品台移動。 2、帶有Phase-Shift 和vertical scan 功能 3、最大Z 軸掃描範圍：20mm 。 4、垂直解析度：0。001 nm ( phase-shift mode) 5、RMS Repeatability: (RMS 重複精度)：0.02 nm 6、採樣反射率：1%到100％。 7、自動聚焦和自動濾波。

主要功能

該設備可以以光學非接觸方式或探針接觸模式測量表面的表面粗糙度，垂直解析度0.001 nm，RMS重複精度達到0.02 nm，樣品採樣反射率寬，包含1%到100％。數據後處理方便，並可計算磨損量和體積。