三維表面輪廓儀

三維表面輪廓儀是一種用於物理學領域的計量儀器，於2019年9月9日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維表面輪廓儀
• 產地：中國
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2019年9月9日
• 所屬類別：計量儀器 > 長度計量儀器

技術指標

垂直掃描範圍 150um壓電陶瓷驅動，20mm擴展掃描 重立請連復性 ＜0.1nm RMS重複性 0.01nm 橫向分辨 空間採樣 0.30um(100X物鏡) 0.04um(100x物鏡，2倍zoom) 掃應試犁民描拳腿懂速度 最大96um/s 台階測量 線性度 重複性≤0.1% 小於20nm或者0.1%。

主要功能

三維表面形貌測試系戲腿統主巴嘗付要用於自動測量樣品的二維、三維表面形貌、表面粗糙度、關鍵尺寸（包括高度、孔洞深度、長度等）、關鍵部位的面積和體積等所有的ISO表面參數宙捉厚迎循姜料。樣品粗糙度測量。