非接觸式三維光學輪廓儀

非接觸式三維光學輪廓儀是一種用於電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2017年8月31日啟用。

基本介紹

• 中文名：非接觸式三維光學輪廓儀
• 產地：德國
• 學科領域：電子與通信技術
• 啟用日期：2017年8月31日
• 所屬類別：電子測量儀器 > 通用電子測量儀器

技術指標

1、垂直測量範圍： 0.1nm至 10 mm，全量程閉環掃描，可連續測量0.1nm到10mm Z向起伏樣品，無需縫合拼接，垂直方向的解析度：< 0.1nm。 2、RMS測量的重複性：≤ 0.01nm。 3、台階高度測量準確性：≤0.75% （8um 台階標準樣塊）；台階高度測量重複性：≤0.1% 1δ。 4、樣品反射率：0.051%至100%。 5、最大樣品測試高度：100mm。

主要功能

測試樣品表面三維形貌、表面粗糙度，波紋度和台階高度等。