三維光學輪廓儀

三維光學輪廓儀是一種用於材料科學、機械工程領域的分析儀器，於2015年12月30日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維光學輪廓儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學、機械工程
• 啟用日期：2015年12月30日
• 所屬類別：分析儀器

技術指標

垂直測量範圍 27mm 垂直解析度 2nm X-Y掃描速度 20mm/s 橫向X-Y軸解析度 0.1μm 掃描範圍（XYZ） 150*150*60mm。

主要功能

對各種固體材料進行二維分析、三維分析、表面紋理分析、粗糙度分析、波度分析、PSD分析、體積、角度計算、曲率計算等。