探針式輪廓儀

探針式輪廓儀是一種用於化學、材料科學、電子與通信技術、化學工程領域的分析儀器，於2017年01月16日啟用。

基本介紹

• 中文名：探針式輪廓儀
• 產地：美國
• 學科領域：化學、材料科學、電子與通信技術、化學工程
• 啟用日期：2017年01月16日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器

技術指標

縱向解析度：0.1nm，掃描範圍100mm*100mm。

主要功能

分析樣品表面大尺寸三維形貌，探測樣品厚度。