三維輪廓儀

三維輪廓儀是一種用於信息科學與系統科學、電子與通信技術領域的電子測量儀器，於2015年12月24日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維輪廓儀
• 產地：西班牙
• 學科領域：信息科學與系統科學、電子與通信技術
• 啟用日期：2015年12月24日
• 所屬類別：電子測量儀器 > 射頻和微波測試儀器 > 射頻和微波測量系統

技術指標

1、三軸移動方式：xy軸為電動控制，z軸為自動控制；2、測量點陣解析度：1360*1024pixels;3、四種光源；4、同時具備共聚焦、白光干涉、相位差干涉三種測量模式；5、高度測量：達到40mm（standard）;6、xy軸位移：達100*75mm；7、xy軸測量解析度：可達0.31μm；8、z軸線性度：＜0.5μm/mm;9、Z軸解析度：2nm;10、高度步進精度：0.5%；11、顯示解析度：0.001nm.。

主要功能

進行尺寸、粗糙度的測試。