澤伊塔儀器科技（上海）有限公司

澤伊塔儀器科技(上海)有限公司研發、生產多模式光學測量和檢測設備。產品套用於：半導體先進封裝、LED、先進玻璃製造、太陽能光伏、微流體以及硬碟行業。澤伊塔儀器科技(上海)有限公司總部位於美國矽谷（加州聖何塞市），並在中國上海設有全資子公司。

基本介紹

• 成立時間：2012-05-02
• 所在地：中國上海
• 註冊資本：250萬元人民幣
• 法定代表人：侯震
• 企業類型：有限責任公司（外國法人獨資）
• 組織機構代碼：594728065

公司簡介

澤伊塔儀器科技(上海)有限公司研發、生產多模式光學測量和檢測設備。產品套用於：半導體先進封裝、LED、先進玻璃製造、太陽能光伏、微流體以及硬碟行業。澤伊塔儀器科技(上海)有限公司總部位於美國矽谷（加州聖何塞市），並在中國上海設有全資子公司。

公司產品

樣品本色三維輪廓儀ZETA-20

透射光照明

• 此功能可配備於玻璃載台系統
  
• 高亮度LED控制集成在先進的配方設定中，實現對樣品的多光路同時掃描
  

側光照明

• 暗場照明
  
• 光源位置和角度可調節
  

基座

• 12×12英寸基台上有螺紋孔陣列方便靈活配置
  
• 用戶可根據自己需求添加其它附屬檔案
  

模組化Z塔

　　

• Z塔設計為堅固、整塊的垂直塔，可以保持優異穩定性
  
• 可根據不同樣品厚度和不同載台選擇不同的安裝位置
  

ZETA-20 CM

磁碟倒角測量

• Zeta-20 CM專用於磁碟邊緣幾何結構測量以及污染物和邊緣缺陷檢測
  
• 特殊的套用軟體包用於磁碟邊緣測量和檢測
  

ZETA-20 旋轉頭

• 使大且重的樣品成像，不能容易地轉動
  
• 旋轉頭沿精密凹槽移動從垂直到水平位置
  
• 頭可反覆定位在任何所需的角度用角度刻度標記在支撐板
  

　　

完全集成的防振機制

• 特殊設計的保護罩用於掃瞄器與外界的隔離
  
• 安裝簡單
  
• 設備可以零成本輕鬆移位
  

三維輪廓測量Zeta產品有標配和可選的軟體包

　　

PCB和柔性PCB測量Zeta-600可以結合Zeta特殊的套用軟體包對PCB和柔性PCB進行三維測量

完全集成的防振機制

• 特殊設計的保護罩用於掃瞄器與外界的隔離
  
• 安裝簡單
  
• 設備可以零成本輕鬆移位
  

ZETASCAN系列

產品配置&特點

• ZetaScan:手動上、下片
  
• ZetaScan-AUTO:配備開放式150/200mm晶圓盒上、下片手臂
  
• ZetaScan-EFEM:300 mm EFEM/FOUP自動上、下片系統
  
• 300 mm & 200 mm雙機械臂
  
• 可選的Edge Grip上、下片方式
  
• 手動系統可放置其他類型樣品
  
• 集成隔振系統
  

技術

測量

Z-點陣專利技術

ZSI-差分干涉技術

ZFT-反射光譜膜厚分析技術

ZIC-干涉反襯成像技術

檢測

AOI-自動光學檢測

ZetaScan-全表面檢測

軟體

ZMorf – 先進的分析軟體