澤伊塔儀器科技(上海)有限公司，成立於2012年5月2日，是一家集研發、生產多模式光學測量和檢測設備的企業。澤伊塔儀器科技(上海)有限公司總部位於美國矽谷（加州聖何塞市），並在中國上海設有全資子公司。
基本介紹
- 成立時間：2012年05月02日
- 法定代表人：侯震
- 所在地：中國上海
- 註冊資本：250萬元人民幣
- 企業類型：有限責任公司（外國法人獨資）
- 組織機構代碼：594728065
- 經營狀態：已註銷
公司簡介,公司產品,核心技術,測量,檢測,軟體,
公司簡介
澤伊塔儀器科技(上海)有限公司，產品套用於：半導體先進封裝、LED、先進玻璃製造、太陽能光伏、微流體以及硬碟行業。澤伊塔儀器科技(上海)有限公司總部位於美國矽谷（加州聖何塞市），並在中國上海設有全資子公司。
公司產品
樣品本色三維輪廓儀ZETA-20
透射光照明
- 此功能可配備於玻璃載台系統
- 高亮度LED控制集成在先進的配方設定中，實現對樣品的多光路同時掃描
側光照明
- 暗場照明
- 光源位置和角度可調節
基座
- 12×12英寸基台上有螺紋孔陣列方便靈活配置
- 用戶可根據自己需求添加其它附屬檔案
模組化Z塔
樣品本色三維輪廓儀ZETA-20
- Z塔設計為堅固、整塊的垂直塔，可以保持優異穩定性
- 可根據不同樣品厚度和不同載台選擇不同的安裝位置
ZETA-20 CM
磁碟倒角測量
樣品本色三維輪廓儀ZETA-20 CM
- Zeta-20 CM專用於磁碟邊緣幾何結構測量以及污染物和邊緣缺陷檢測
- 特殊的套用軟體包用於磁碟邊緣測量和檢測
ZETA-20 旋轉頭
樣品本色三維輪廓儀ZETA-20 旋轉頭
- 使大且重的樣品成像，不能容易地轉動
- 旋轉頭沿精密凹槽移動從垂直到水平位置
- 頭可反覆定位在任何所需的角度用角度刻度標記在支撐板
完全集成的防振機制
- 特殊設計的保護罩用於掃瞄器與外界的隔離
- 安裝簡單
- 設備可以零成本輕鬆移位
三維輪廓測量Zeta產品有標配和可選的軟體包
PCB和柔性PCB測量Zeta-600可以結合Zeta特殊的套用軟體包對PCB和柔性PCB進行三維測量
完全集成的防振機制
- 特殊設計的保護罩用於掃瞄器與外界的隔離
- 安裝簡單
- 設備可以零成本輕鬆移位
ZETASCAN系列
產品配置&特點
- ZetaScan:手動上、下片
- ZetaScan-AUTO:配備開放式150/200mm晶圓盒上、下片手臂
- ZetaScan-EFEM:300 mm EFEM/FOUP自動上、下片系統
- 300 mm & 200 mm雙機械臂
- 可選的Edge Grip上、下片方式
- 手動系統可放置其他類型樣品
- 集成隔振系統
核心技術
測量
Z-點陣專利技術
ZSI-差分干涉技術
ZFT-反射光譜膜厚分析技術
ZIC-干涉反襯成像技術
檢測
AOI-自動光學檢測
ZetaScan-全表面檢測
軟體
ZMorf – 先進的分析軟體
