白光掃描干涉輪廓儀

白光掃描干涉輪廓儀是一種用於工程與技術科學基礎學科、機械工程、紡織科學技術領域的物理性能測試儀器，於2012年5月11日啟用。

基本介紹

• 中文名：白光掃描干涉輪廓儀
• 產地：美國
• 學科領域：工程與技術科學基礎學科、機械工程、紡織科學技術
• 啟用日期：2012年5月11日
• 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器

技術指標

垂直解析度（縱向） ＜0.1 nm Z軸調整≤350mm 精度0.11μm RMS重複精度 ≤0.01 nm RMS 垂直掃描範圍 150μm 測量時間 5～20s 掃描速度 ≤135μm/s 採樣數據點640×480點/次採集 台階測量準確度 ≤0.75% 台階測量重複率 ≤0.1%, 最大可拼接直徑 ≤φ50 mm 物鏡 2.5倍 20倍 目鏡 0.5倍， 1倍，2倍。

主要功能

光學輪廓儀可對物體進行非接觸表面測量，其顯示精度可達亞納米級，同時可對工件進行納米級表面粗糙度測量。