現代光電測試技術

現代光電測試技術

《現代光電測試技術》是2020年北京理工大學出版社出版的圖書。

基本介紹

  • 中文名:現代光電測試技術
  • 作者:郝群,胡搖,王姍姍 等
  • 出版社:北京理工大學出版社
  • 出版時間:2020年4月1日
  • 頁數:171 頁
  • 開本:16 開
  • 裝幀:平裝
  • ISBN:9787568283786
內容簡介,圖書目錄,

內容簡介

  《現代光電測試技術》以光電被測對象為主線,較全面地介紹了光學量和幾何量測量中所涉及的基本理論,主要測量原理、方法,主要測量儀器的組成及主要技術特點。
  《現代光電測試技術》與常規以原理和技術為主線的寫法不同,而是以套用對象為主線,將原理各不相同的測試方法聯繫起來,便於各方法之間的分析比較,突出將理論套用到實際中,注重對工程思維培養。

圖書目錄

第一章 緒論
1.1 精密測試的意義和特點
1.2 精密測試基礎
1.2.1 基本概念
1.2.2 基本構成
1.3 光電測試技術的發展
參考文獻
第二章 光電測試的基礎理論
2.1 干涉原理
2.1.1 光波疊加
2.1.2 干涉條件
2.1.3 影響條紋對比度的因素
2.2 雷射都卜勒原理
2.2.1 都卜勒頻移原理
2.2.2 雷射都卜勒頻移測量
2.2.3 小結
2.3 差分與斜率測量原理
2.3.1 斜率測量原理
2.3.2 差分測量原理
2.3.3 波前重構算法
2.4 三角測量原理
2.4.1 直射式雷射三角法
2.4.2 斜射式雷射三角法
2.4.3 直射式與斜射式特點比較
2.5 莫爾測量原理
2.5.1 莫爾測量基礎
2.5.2 莫爾條紋測長原理
參考文獻
第三章 長度測量
3.1 長度基準回顧
3.1.1 長度基準的沿革
3.1.2 “米”定義復現方法
3.2 柯氏干涉儀測長
3.2.1 柯氏干涉儀光路
3.2.2 傳統柯式干涉儀測長原理
3.2.3 柯式干涉儀的改進
3.3 雷射都卜勒測量技術
3.4 雙頻雷射干涉測量技術
3.5 絕對距離干涉測量
3.5.1 合成波長法
3.5.2 雷射調頻測距
3.5.3 波長掃描干涉測試技術
3.5.4 光頻梳絕對距離測量
3.6 三角法測距
參考文獻
第四章 波前誤差測量
4.1 移相干涉測量
4.1.1 移相干涉技術的原理
4.1.2 相位解包裹
4.1.3 移相干涉技術的特點
4.1.4 常見的移相方法
4.1.5 移相干涉技術的套用
4.2 同步移相干涉測量
4.2.1 同步移相干涉測量的系統組成
4.2.2 同步移相干涉測量的抗振技術研究
4.2.3 典型的同步移相干涉系統
4.3 夏克一哈特曼自基準測量技術
4.3.1 夏克一哈特曼測量原理
4.3.2 自基準哈特曼檢測
4.4 波前重構方法
4.4.1 區域法重構波前
4.4.2 模式法重構波前相位
4.5 相位恢復技術
4.5.1 相位恢復基本原理
4.5.2 相位恢復基本模型
4.5.3 G-S算法
4.5.4 相位變更相位恢復模型
4.5.5 光強探測和PDPR模型中的離散採樣
4.5.6 基於疊代變換的PDPR算法
4.5.7 基於參數最最佳化的PDPR算法
參考文獻
第五章 形貌測量
5.1 單點掃描三角測量法
5.2 雷射束偏轉法
5.2.1 平移法
5.2.2 轉動法
5.2.3 平移轉動法
5.3 莫爾條紋法
5.3.1 等高莫爾法
5.3.2 莫爾測偏法
5.3.3 微電子基板三維形貌等高莫爾法測量
5.4 數字莫爾法
5.4.1 虛光柵與數字莫爾
5.4.2 數字莫爾移相
5.4.3 相位一高度變換
5.4.4 套用舉例
5.5 結構光法
5.5.1 結構光法概述
5.5.2 結構光法測量原理
5.5.3 套用舉例
參考文獻
第六章 微觀形貌測量
6.1 光探針法
6.1.1 光學探針法原理
6.1.2 光學探針法技術參數
6.1.3 光學探針法的套用
6.1.4 其他種類的光學探針法
6.2 共焦顯微鏡
6.2.1 共焦顯微鏡技術原理
6.2.2 共焦顯微鏡技術參數
6.2.3 共焦顯微鏡的改進
6.2.4 共焦顯微鏡的套用
6.3 白光干涉輪廓儀
6.3.1 白光干涉儀光路結構
6.3.2 白光干涉儀原理
6.3.3 白光干涉儀套用
參考文獻

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