三維白光干涉輪廓儀

三維白光干涉輪廓儀是一種用於物理學、信息科學與系統科學、材料科學、機械工程領域的分析儀器，於2014年12月23日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維白光干涉輪廓儀
• 產地：美國
• 學科領域：物理學、信息科學與系統科學、材料科學、機械工程
• 啟用日期：2014年12月23日
• 所屬類別：分析儀器

技術指標

具有拼接大於100mm樣品的拼接能力,保證測試時間在40分鐘內.；不小於0.1nm到10mm,0.1nm（非理論值，現場實際驗收）:RMS重現性：0.01nm;100mm;可測反光率為1to100%樣品;精度小於0.75%台階測試重複性:針對小於2μm台階,重複性＜0.1%@1σ。

主要功能

白光輪廓儀是一種非接觸式表面輪廓儀。NewView7100白光輪廓儀以其極高的精密度和準確度可以定性和定量地反映出樣品的表面粗糙度、台階高度、關鍵部位的尺寸以及樣品的形貌。NewView7100白光輪廓儀可以涵蓋多種表面的測量，包括粗糙或光滑的、堅硬或柔軟的、一般透明薄膜等。