白光干涉三維輪廓儀

白光干涉三維輪廓儀是一種用於信息科學與系統科學、自然科學相關工程與技術、信息與系統科學相關工程與技術領域的分析儀器，於2013年8月21日啟用。

基本介紹

• 中文名：白光干涉三維輪廓儀
• 產地：美國
• 學科領域：信息科學與系統科學、自然科學相關工程與技術、信息與系統科學相關工程與技術
• 啟用日期：2013年8月21日
• 所屬類別：分析儀器 > 顯微鏡及圖象分析儀器 > 圖像分析儀

技術指標

縱向解析度0.1nm，縱向測量範圍10mm，最高橫向解析度：0.3um。

主要功能

表面微觀結構形狀的三維精密測量。