先進干涉檢測技術與套用

《先進干涉檢測技術與套用》是2017年浙江大學出版社出版的圖書。

基本介紹

• 中文名：先進干涉檢測技術與套用
• 出版時間：2017年10月1日
• 出版社：浙江大學出版社
• ISBN：9787308171090

內容簡介

楊甬英等編著的《先進干涉檢測技術與套用(高等院校光電類專業系列規劃教材)》以光的干涉、衍射、偏振及電磁波理論為基礎，系統全面地介紹了各種先進干涉技術及套用。全書內容共分10章。第1章光及光的干涉，闡述了光的特性及光干涉的基本概念；第2章常見干涉儀，介紹了一些基礎及常用的干涉儀；第3章共路干涉儀，簡要介紹了散射板、剪下干涉及點衍射等共路型的干涉儀；第4章非球面檢測技術，系統地介紹了非球面的基本概念、非球面的零位與非零位檢測及各種新穎的波前重構算法；第5章精密長度及振動測量干涉體系，全面介紹了雷射干涉測長、測振系統的工作原理、外差測長技術及納米測試技術中的諧振增強技術；第6章干涉相位調製及解調技術，系統介紹了各種新穎的、商用化的干涉儀的相移技術、時間相位調製、空間相位調製及偏振相移技術等；第7章干涉系統套用中的精密掃描與定位系統，介紹了干涉檢測中常用的壓電晶體及其性質、各種新穎的壓電晶體在精密干涉移相、掃描定位及納米檢測中的套用；第8章新型干涉儀，系統介紹了光纖干涉儀、雙光子干涉儀、全息干涉儀等新穎干涉儀；第9章干涉光譜技術，介紹了光譜技術的發展及分類、F-P干涉儀、干涉成像光譜儀、高光譜解析度雷射雷達濾光器等光譜技術；第10章干涉圖分析中的關鍵技術，系統地介紹了典型干涉圖及表達方法、干涉圖預處理、相位解調、解包裹處理、正交多項式擬合等波前重構的算法。全書理論分析嚴謹、實例新穎豐富，匯集了作者數十年科研成果及教學經驗。

圖書目錄

第1章 光及光的干涉

1.1 光及光的特性

1.1.1 光學簡史

1.1.2 光的電磁理論

1.1.3 偏振

1.1.4 光場疊加及干涉條件

1.1.5 衍射

1.2 光的干涉

1.2.1 干涉條紋對比度與光的相干理論

1.2.2 實際光波的干涉

1.2.3 分波前法干涉

1.2.4 分振幅法干涉

1.2.5 干涉儀中的瞳和窗

習題

參考文獻

第2章 常見干涉儀

2.1 牛頓干涉儀

2.1.1 牛頓干涉儀基本原理

2.1.2 光學車間檢驗中的牛頓干涉儀套用

2.2 邁克耳遜干涉儀

2.2.1 邁克耳遜干涉儀基本原理

2.2.2 邁克耳遜干涉儀套用

2.3 菲索干涉儀

2.3.1 菲索干涉儀基本原理

2.3.2 Fizeau干涉儀套用實例：ZYGO干涉儀

2.4 泰曼—格林干涉儀

2.4.1 泰曼—格林干涉儀基本原理

2.4.2 Twyman-Green干涉儀套用

2.5 瑞利干涉儀

2.5.1 瑞利干涉儀基本原理

2.5.2 瑞利干涉儀測定氣體折射率

2.6 馬赫—曾德干涉儀

2.6.1 馬赫曾德干涉儀基本原理

2.6.2 馬赫曾德光纖感測

2.7 法布里—珀羅干涉儀

2.7.1 法布里—珀羅干涉儀原理

2.7.2 主要套用

習題

參考文獻

第3章 共路干涉儀

3.1 散射板干涉儀

3.1.1 散射板干涉儀基本原理

3.1.2 散射板干涉儀干涉光強分布

3.2 剪下干涉儀

3.2.1 平行平板橫向剪下干涉儀

3.2.2 薩瓦偏振鏡干涉儀

3.2.3 渥拉斯頓稜鏡干涉儀

3.2.4 交叉光柵橫向剪下干涉儀

3.2.5 波帶片徑向剪下干涉儀

3.2.6 環形徑向剪下干涉儀

3.3 雙焦干涉儀

3.3.1 雙焦干涉儀基本原理

3.3.2 雙焦干涉輪廓儀

3.4 點衍射干涉儀

3.4.1 點衍射干涉儀原理

3.4.2 點衍射干涉儀的套用

3.5 米勒干涉儀

習題

參考文獻

第4章 非球面檢測技術

4.1 非球面的基本概念

4.1.1 非球面的定義與分類

4.1.2 非球面的性質

4.2 非球面零位檢測

4.2.1 無像差點法

4.2.2 零位補償鏡檢測技術

4.2.3 計算全息零位檢測

4.3 非球面的非零位檢測

4.3.1 非零位檢測技術

4.3.2 部分補償干涉檢測

4.3.3 子孔徑干涉檢測

4.4 組合干涉檢測技術

4.4.1 零位檢測與零位檢測的組合

4.4.2 零位檢測與子孔徑拼接檢測的組合

4.4.3 非零位檢測與非零位檢測的組合

4.5 面形誤差的重構

4.5.1 基於二倍關係的重構

4.5.2 基於理論波前的重構

4.5.3 基於逆向疊代的重構

4.5.4 誤差分析

4.6 子孔徑拼接技術

4.6.1 拼接算法

4.6.2 子孔徑劃分

4.6.3 子孔徑拼接誤差分析

4.6.4 NASSI子孔徑拼接與面形重構

習題

參考文獻

第5章 精密長度及振動測量干涉體系

5.1 雷射干涉測長技術

5.1.1 雷射干涉測長系統的工作原理

5.1.2 雷射光源的模式選擇

5.1.3 干涉測長的動鏡選擇

5.1.4 干涉體系的可逆計數及移相

5.1.5 白光干涉定位技術

5.2 雷射干涉測振技術

5.2.1 雷射干涉測振系統校準原理

5.2.2 頻率比測振

5.2.3 貝塞爾函式測振

5.3 外差技術

5.3.1 外差測長原理

5.3.2 外差測長的關鍵技術

5.3.3 外差測長的套用

5.4 納米測試技術中的諧振增強技術

5.4.1 AFM直流測量技術

5.4.2 微弱信號檢測的鎖相技術

5.4.3 AFM諧振增強技術

習題

參考文獻

第6章 干涉相位調製及解調技術

6.1 時間相位調製及解調技術

6.1.1 基本原理

6.1.2 時間相位調製的實現方法

6.1.3 時間相位解調方法

6.2 空間相位調製及解調技術

6.2.1 空間線性載波及解調

6.2.2 頻域泄漏效應的影響及處理

6.2.3 環形徑向剪下干涉測量系統

6.3 偏振相位調製技術

6.3.1 基本原理

6.3.2 正交線偏振光相位調製系統

6.4 同步移相技術

習題

參考文獻

第7章 干涉系統套用中的精密掃描與定位系統

7.1 壓電效應

7.1.1 壓電效應和壓電晶體

7.1.2 壓電陶瓷逆壓電效應的性質

7.2 壓電疊堆掃描系統

7.2.1 壓電掃描位移模組

7.2.2 壓電掃描控制

7.3 壓電掃描微位移器檢測

7.4 壓電掃描微位移器套用舉例

7.5 壓電直線電機

7.5.1 蠕動式壓電直線電機

7.5.2 衝擊式壓電直線電機

7.6 柔性鉸鏈壓電系統

7.6.1 柔性鉸鏈的基本模型結構

7.6.2 柔性鉸鏈壓電掃描系統

7.7 各種精密掃描與定位系統的比較

習題

參考文獻

第8章 新型干涉儀

8.1 偏振光干涉儀

8.1.1 偏振光干涉原理

8.1.2 偏振光干涉儀及套用

8.2 光纖干涉儀

8.2.1 光纖基礎知識

8.2.2 常見光纖干涉儀

8.2.3 光纖干涉儀的典型套用

8.3 全息干涉儀

8.3.1 全息基本原理

8.3.2 全息干涉技術

8.3.3 全息干涉儀的典型套用

8.4 散斑干涉儀

8.4.1 散斑基礎

8.4.2 散斑干涉測量

8.4.3 散斑干涉儀的典型套用

習題

參考文獻

第9章 干涉光譜技術

9.1 光譜儀器常見術語

9.1.1 自由光譜區

9.1.2 分辨本領

9.1.3 光譜儀亮度和聚光本領

9.2 光譜技術的發展及分類

9.2.1 色散型光譜儀

9.2.2 干涉型光譜儀

9.2.3 其他的新型光譜儀

9.3 干涉光譜技術

9.3.1 空間分離型干涉光譜技術

9.3.2 傅立葉變換干涉光譜技術

9.4 干涉(傅立葉變換)成像光譜技術

9.4.1 時間調製型干涉成像光譜儀

9.4.2 基於三角共路(Sagnac)分束器的空間調製型干涉成像光譜儀

9.4.3 基於偏振器件的空間調製型干涉成像光譜儀

9.4.4 小結

9.5 基於廣角麥可遜干涉儀的干涉成像光譜儀

9.5.1 概述

9.5.2 廣角麥可遜干涉儀的基本原理

9.5.3 被動大氣遙感中的廣角麥可遜干涉儀

9.6 高光譜解析度雷射雷達

9.6.1 概述

9.6.2 FP濾光器

9.6.3 FWMI濾光器

9.6.4 FPI和FWMI濾光器在HSRL中性能的比較

習題

參考文獻

第10章 干涉圖分析中的關鍵技術

10.1 麥可遜干涉圖及其表示

10.2 單幅閉合干涉圖相位解調技術

10.2.1 單幅閉合干涉圖相位解的不唯一性

10.2.2 正則化相位跟蹤技術

10.2.3 路徑無關正則化相位跟蹤技術

10.2.4 正交多項式相位擬合技術

10.3 兩幅隨機相移干涉圖相位解調技術

10.4 相位解包裹技術

10.4.1 一維相位解包裹

10.4.2 二維相位解包裹

10.5 正交多項式波面擬合技術

10.5.1 Zernike多項式

10.5.2 Zernike多項式在非圓域上的正交化

10.5.3 Zernike多項式波面擬合

習題

參考文獻