精密光學元件先進測量與評價

內容簡介

《精密光學元件先進測量與評價》主要針對精密光學元件檢測原理與技術進行了全面、詳細的介紹，並且追蹤了最新的科技前沿技術的原理與套用，緊扣實際套用需求，對檢測過程中的關鍵技術進行了研究。首先對光學元件的質量評價標準做了詳細的介紹，包括表面面形誤差評價標準、亞表面損傷的評價以及光學元件均勻性的評價。之後，對干涉檢測原理與國際上前沿技術進行了介紹，特別是相移干涉技術、動態干涉技術等。對補償法檢測非球面，主要介紹了光學補償器和計算全息補償器，對其設計原理、製作工藝、裝調技術進行了詳細的介紹與分析。其後，對子孔徑拼接技術的原理進行了介紹，對關鍵的拼接算法進行了詳細的研究，搭建了測量平台，並在實際工程中獲得了很好的套用。輪廓測量與結構光測量技術也是《精密光學元件先進測量與評價》的重點之一，其在粗糙表面面形測量中有著十分重要的作用。最後，對亞表面的損失測量做了介紹與研究。全書共分為八章。第一章對光學元件檢測做了概述，並提出了光學元件質量的各種評價指標。

圖書目錄

前言

第1章緒論

1.1概述

1.2光學元件質量評價

1.2.1表面質量評價

1.2.2亞表面質量評價

1.3干涉測量基礎知識

1.3.1干涉原理

1.3.2典型干涉測量結構

第2章子子L徑拼接輪廓測量

2.1概述

2.2圓形子孔徑拼接

2.2.1拼接原理

2.2.2拼接算法

2.3環形子孔徑拼接

2.3.1孔徑劃分

2.3.2拼接原理

2.3.3拼接算法

2.4廣義子孔徑拼接

2.4.1廣義環形子孔徑拼接算法

2.4.2計算機模擬

2.5子孔徑拼接最佳化算法

2.5.1調整誤差分量及其波像差

2.5.2環形子孔徑拼接最佳化模型

2.5.3仿真研究

2.6測量系統

2.6.1SSI—300子孔徑檢測平台

2.6.2實驗研究

2.7超大口徑拼接檢測

2.7.1方案設計

2.7.2拼接算法

2.8小結

精密光學元件先進測量與評價

基本介紹

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