先進光學元件微納製造與精密檢測技術

《先進光學元件微納製造與精密檢測技術》是2014年11月國防工業出版社出版的圖書，作者是郭隱彪、楊平、王振忠。

基本介紹

• 書名：先進光學元件微納製造與精密檢測技術
• 作者：郭隱彪、楊平、王振忠
• 出版社：國防工業出版社
• 出版時間：2014年11月
• 頁數：320 頁
• 定價：108.00 元 
• 開本：16 開
• 裝幀：精裝
• ISBN： 9787118096132

內容簡介

本書對目前主流平板顯示技術的驅動技術做了較為全面的敘述。全書分為8章。內容包括：平板顯示器件的工作原理及顯示器件的驅動技術基礎，LCD的無源和有源驅動技術，LED、OL ED和ELD的驅動技術以及PDP的驅動技術。

本書是在電子科技大學“顯示器件驅動技術”課程的基礎上，對信息顯示與光電技術專業多年的教學、科研和實驗成果進行總結編寫而成的。本書採用模組形式，既可作為大專院校光電子技術、物理電子技術、通信等相關專業的本科生和研究生教材，也可供廣大科技工作者、工程技術和研發人員參考。

目錄

第1章緒論1

1.1先進光學元件的套用及製造技術要求1

1.1.1先進光學元件的特點1

1.1.2先進光學元件的套用2

1.1.3先進光學元件的製造技術要求6

1.1.4先進光學元件的製造技術範疇10

1.2先進光學元件的製造技術14

1.2.1光學元件的模壓成形技術15

1.2.2光學元件的精密切削技術16

1.2.3光學元件的精密磨削加工技術19

1.2.4光學元件精密研拋技術21

1.2.5精密光學加工環境控制技術24

1.3先進光學元件的檢測與評價技術25

1.3.1先進光學元件的檢測要求及難點25

1.3.2光學元件的檢測技術27

1.3.3光學誤差的評價方法29

參考文獻31

第2章先進光學元件加工裝備技術33

2.1工具機設計理論33

2.1.1工具機設計要求33

2.1.2工具機設計方法35

2.2超精密工具機關鍵部件及技術44

2.2.1主軸部件46

2.2.2直線導軌部件50

2.2.3微位移進給部件52

2.3超精密工具機數控技術55

2.3.1數控技術55

2.3.2超精密加工數控系統60

2.3.3開放式數控系統66

2.3.4超精密磨床數控電氣設計實例69

2.4超精密磨削加工裝備70

2.4.1超精密加工裝備技術綜述70

2.4.2超精密磨削成形工具機74

2.5超精密加工工具技術78

2.5.1超精密切削加工刀具技術78

2.5.2超精密磨削砂輪技術81

參考文獻83

第3章先進光學元件磨削技術

84

3.1超精密磨削加工發展84

3.1.1先進光學元件磨削技術概述84

3.1.2延性磨削和鏡面磨削85

3.2超精密磨削過程分析88

3.2.1超精密磨削機理88

3.2.2磨削過程基本參數89

3.3超精密磨削加工關鍵技術94

3.4砂輪修整 96

3.4.1杯形砂輪修整97

3.4.2ELID線上電解修整101

3.4.3放電修整103

3.4.4雷射修整105

3.4.5微小型磨削砂輪修整技術107

3.5非球面磨削加工技術108

3.5.1微小非球面加工技術108

3.5.2大口徑非球面磨削加工技術112

3.5.3自由曲面磨削加工技術118

3.6工藝軟體設計開發123

3.6.1數控編程格式124

3.6.2微小型非球面工藝軟體開發實例126

3.6.3大口徑非球面工藝軟體開發實例128

3.7超聲振動複合磨削加工技術133

3.8加工實例135

參考文獻139

第4章先進光學元件拋光技術140

4.1超精密拋光加工發展140

4.2平面光學元件拋光技術143

4.2.1平面拋光原理143

4.2.2平面拋光軌跡控制143

4.2.3平面拋光材料去除模型148

4.3非球面光學元件拋光技術162

4.3.1非球面氣囊拋光原理162

4.3.2軸對稱非球面氣囊拋光進動運動控制164

4.3.3自由曲面氣囊拋光進動運動控制174

4.3.4氣囊拋光材料去除模型183

參考文獻187

第5章先進光學元件精密檢測技術191

5.1基於坐標測量的非球面元件檢測技術191

5.1.1擺臂式輪廓檢測法192

5.1.2長行程輪廓檢測法201

5.1.3五稜鏡輪廓檢測法202

5.2基於波面干涉測量的非球面檢測技術205

5.2.1零位干涉檢測技術206

5.2.2非零位干涉檢測技術211

5.3光學非球面精密檢測平台216

5.3.1小型光學非球面精密檢測平台216

5.3.2大型光學非球面精密檢測平台220

參考文獻224

第6章先進光學元件精密檢測中的數據處理技術229

6.1先進光學元件檢測軌跡規劃229

6.1.1基於坐標測量的軌跡規劃229

6.1.2基於子孔徑干涉測量的軌跡規劃237

6.2大口徑光學元件檢測中的數據處理技術238

6.2.1分段輪廓測量的數據處理技術238

6.2.2子孔徑拼接的數據處理技術243

6.3光學元件線上檢測系統數據處理技術研究249

6.3.1數據處理系統總體設計249

6.3.2數據預處理249

6.3.3誤差補償及結果252

參考文獻257

第7章先進光學元件製造加工環境監控技術259

7.1超精密加工環境監控技術概述259

7.1.1加工環境監控與診斷技術進展260

7.1.2嵌入式無線監控和診斷技術進展261

7.2超精密加工環境無線監控系統原理262

7.2.1加工環境無線監控系統構成262

7.2.2加工環境無線監控對象263

7.2.3加工環境無線監控系統網路265

7.3加工環境無線監控系統技術體系266

7.3.1系統硬體組成266

7.3.2系統軟體組成270

7.4加工環境無線監控系統監控實例273

參考文獻279

第8章光學元件製造的亞表面損傷檢測與控制

282

8.1亞表面損傷概述282

8.1.1表面質量與完整性的研究內容282

8.1.2亞表面損傷的表現形式284

8.1.3亞表面損傷對元件光學性能的影響291

8.2亞表面損傷的形成機理292

8.2.1亞表面裂紋的形成機理293

8.2.2亞表面層殘餘應力的形成機理296

8.2.3亞表面層材料組織變化機理298

8.3亞表面損傷的檢測與評價300

8.3.1損傷性檢測技術300

8.3.2無損檢測技術304

8.3.3亞表面損傷的評價306

8.3.4亞表面損傷的預測308

8.4光學元件製造的亞表面損傷控制311

8.4.1脆性材料的延展性去除加工技術311

8.4.2脆性材料的半延展性去除加工技術313

參考文獻314