掃描三維表面輪廓儀

掃描三維表面輪廓儀

掃描三維表面輪廓儀是一種用於化學領域的物理性能測試儀器,於2013年11月12日啟用。

基本介紹

  • 中文名:掃描三維表面輪廓儀
  • 產地:美國
  • 學科領域:化學
  • 啟用日期:2013年11月12日
  • 所屬類別:物理性能測試儀器
技術指標,主要功能,

技術指標

接觸式橫向掃描範圍:150mm(3D掃描範圍150mm×150mm)大尺寸納米級平整測量平台:150mm×150mm接觸式最大樣品高度:50mm(或100mm)光學膜厚測量厚度範圍:1nm-100um光學厚度解析度:0.1nm光學厚度重複性:0.3nm。

主要功能

測定表面膜厚度和形貌。

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