手動表面輪廓儀

手動表面輪廓儀是一種用於物理學、材料科學領域的儀器，於2011年12月28日啟用。

基本介紹

• 中文名：手動表面輪廓儀
• 產地：中國
• 學科領域：物理學、材料科學
• 啟用日期：2011年12月28日

技術指標

1.掃描時最小正壓力:0.03mg；2.最佳垂直解析度:0.38A；3.Z測量重複精度:保證6A重複性(1μm台階標樣)；4.最大垂直測量範圍:不小於800μm；5.樣品需具有雙向掃描測量的功能,方便定位和掃描；6.薄膜應力測試功能；7.最大採樣點數120,000；8.線性掃描方式,無需校正拋物線型;掃描長度50μm-55mm;掃描速度0.01-0.2mm/s；9.需有獨特的系統內置避震設計；10.30+個分析參數；11.6英寸樣品台,樣品台360度旋轉,可調傾斜角度+/-2度；12.探針曲率半徑2μm；。

主要功能

角度處理：兩直線夾角、直線與Y軸夾角、直線與X軸夾角。