光學表面輪廓儀

光學表面輪廓儀是一種用於材料科學、電子與通信技術領域的分析儀器，於2009年11月27日啟用。

基本介紹

• 中文名：光學表面輪廓儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學、電子與通信技術
• 啟用日期：2009年11月27日
• 所屬類別：分析儀器 > 電子光學儀器

技術指標

1. 垂直測量範圍：0.1nm 至 1mm2. 垂直解析度：＜0.1nm Ra3. RMS重現性：0.01nm4. 垂直掃描速度：可達14.4微米/秒5. 橫向解析度：0.08 至13.1微米。

主要功能

光學輪廓儀提供精確、非接觸表面測量，可運用於微機械系統、薄膜、光學器件、陶瓷、高級材料等領域。