相移干涉術和數字光學輪廓儀研究

《相移干涉術和數字光學輪廓儀研究》這篇論文的作者是韋春龍,為王之江院士,陳明儀教授指導。

副題名
外文題名
Study on new algorithms for phase-stepping interferometry and digital optical profiler
論文作者
韋春龍著
導師
王之江院士,陳明儀教授指導
學科專業
光學儀器
學位級別
d 1998n
學位授予單位
中國科學院上海光學精密機械研究所
學位授予時間
1998
關鍵字
相移干涉術 表面粗糙度 輪廓儀
館藏號
唯一標識符
108.ndlc.2.1100009031010001/T3F24.012002643545
館藏目錄
BSLW 1999 TH741.3 2\ \

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