三維干涉輪廓儀

三維干涉輪廓儀是一種用於材料科學領域的電子測量儀器，於2014年1月1日啟用。

基本介紹

• 中文名：三維干涉輪廓儀
• 產地：美國
• 學科領域：材料科學
• 啟用日期：2014年1月1日
• 所屬類別：電子測量儀器 > 射頻和微波測試儀器

技術指標

？ 最大直徑：6英寸； ？ 採用雙光源技術：綠光和白光LED； ？ Z方向掃描範圍：測量範圍0.1nm至 10mm； 解析度＜0.1nm； ？ RMS重複率：0.01nm ？ 垂直掃描速度：最高掃描速度28um/秒； 橫向採樣間隔：0.1um至13.2um； ？ 具有自動載物台； ？ 具有較高的光學解析度,最小可達0.49um; ？ 設備具有較大的視野範圍，並能夠通過擴展進一步擴展範圍： ？ 測試的台階高度具有0.8%精確度，1σ重現性0.1%。

主要功能

？ 金屬表面的光潔度/平整度/摩擦係數等 ？ 薄膜厚度 ？ 感光膠及透明薄膜厚度 ？ 微機電系統特性測量 ？ 複合半導體器件 ？ 微鏡高度、形貌及V形槽深度 ？ 粗糙度及機加工件測量 ？ 表面質量和缺陷檢測。