3D光學輪廓儀

3D光學輪廓儀是一種用於物理學領域的特種檢測儀器，於2014年9月12日啟用。

基本介紹

• 中文名：3D光學輪廓儀
• 產地：西班牙
• 學科領域：物理學
• 啟用日期：2014年9月12日
• 所屬類別：特種檢測儀器 > 光電檢測儀器

技術指標

干涉模式（橫向解析度500nm、縱向0.1nm）；共焦模式（橫向200nm、縱向2nm）。

主要功能

結合共聚焦技術與新納米尺度高精度測量技術。