動態MEMS器件光學測量系統是一種用於信息科學與系統科學領域的物理性能測試儀器,於2013年9月2日啟用。
基本介紹
- 中文名:動態MEMS器件光學測量系統
- 產地:美國
- 學科領域:信息科學與系統科學
- 啟用日期:2013年9月2日
- 所屬類別:物理性能測試儀器 > 光電測量儀器
動態MEMS器件光學測量系統是一種用於信息科學與系統科學領域的物理性能測試儀器,於2013年9月2日啟用。
動態MEMS器件光學測量系統是一種用於信息科學與系統科學領域的物理性能測試儀器,於2013年9月2日啟用。技術指標 150mm自動樣品台;目鏡2倍、0.55倍;物鏡5倍、50倍;垂直掃描範圍:0.1nm-10mm;垂直解析度:亞納米量級。主要功能 對...
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