動態MEMS器件光學測量系統是一種用於信息科學與系統科學領域的物理性能測試儀器，於2013年9月2日啟用。
基本介紹
- 中文名：動態MEMS器件光學測量系統
- 產地：美國
- 學科領域：信息科學與系統科學
- 啟用日期：2013年9月2日
- 所屬類別：物理性能測試儀器 > 光電測量儀器
技術指標,主要功能,
技術指標
150mm自動樣品台；目鏡2倍、0.55倍；物鏡5倍、50倍；垂直掃描範圍：0.1nm-10mm；垂直解析度：亞納米量級。
主要功能
對微米尺度的微結構力學特性進行檢測分析。設備的基本組成是一個干涉式光學輪廓儀，通過分層成像復原出微結構三維圖像，其基礎部件是一台干涉顯微鏡和相關的計算機圖像處理系統。在此基礎上又增加了微結構驅動的電控系統、高速閃頻攝像系統和能夠將動態閃頻圖像解算為微結構力學或材料特性的軟體。可以實現靜態測量（關鍵尺寸、表面粗糙度、高度等）和動態測量（運動表面動作表征、頻率、相位等）。
