MEMST

基本介紹

• 中文名：MEMS技術天地
• 英文全稱：MEMS technology

基本信息

MEMST是中國微米納米學會的專業MEMS交流論壇，涉及MEMS行業的新聞資訊、市場調查與分析、半導體薄膜技術、MEMS工藝、MEMS感測器、MEMS設計仿真、MEMS封裝測試、納米技術等行業領域，並且提供最新相關的MEMS會議會展、技術培訓以及MEMS招聘求職信息等。

MEMST的英文全稱是MEMS technology，中文名稱是MEMS技術天地，在2011年7月成為由清華大學主辦的中國微米納米學會的MEMS交流論壇，它面向現代化技術領域的MEMS行業，提供最新的新聞資訊，並做市場調查與分析。該MEMS論壇不僅涉及傳統半導體薄膜技術，而且還展示了目前主流的MEMS工藝，介紹了多種MEMS感測器，諸如MEMS壓力感測器、微型陀螺儀、MEMS加速度計、MEMS聲學麥克風、非製冷MEMS紅外探測器以及射頻MEMS器件、光學MEMS器件、生物MEMS器件、微型飛行器、微型機器人等。

在MEMS設計方面，MEMST（MEMS技術天地）開闢了專項的綜合欄目，涉及到MEMS器件的結構仿真、版圖設計；在MEMS封裝測試方面，提供了傳統的半導體工藝欄目、晶圓級封裝、MEMS真空封裝欄目；並提供最新的納米技術套用等領域。

MEMST（MEMS技術天地）還免費為大家提供最新的MEMS會議會展、技術培訓，以及最新的MEMS招聘、求職信息等。

網站宗旨

MEMST（MEMS技術天地）是目前中國MEMS研發人員的主要交流論壇，由中國微米納米學會組織承辦，涵蓋的MEMS技術、MEMS感測器、MEMS陀螺儀、MEMS設計、MEMS工藝以及MEMS相關領域，為廣大MEMS研究者，旨在為廣大MEMS從業者、研發人員或者其愛好者提供一個免費的獲取信息和交流信息的平台！大力推進微機電系統MEMS技術在中國的發展！

網站文化

分享、交流、自由、激情、進步

網站欄目

微機電系統綜述

該欄目主要傳播微機電系統MEMS技術領域內的最新動態和資訊，包括最新的MEMS行業動態、市場調查分析、MEMS研究院所、MEMS公司名錄、MEMS行業著名人物的觀點、MEMS招聘和求職。

薄膜及微細加工技術

MEMS技術在半導體積體電路工藝技術基礎上延伸和拓寬起來的，該欄目設計光刻、刻蝕、薄膜澱積技術、摻雜退火、深刻蝕與鍵合、釋放與殘餘應力、度量檢測、晶圓製備與外延。

MEMS工藝

MEMS技術工藝主要包括表面犧牲層技術、體矽技術、LIGA/UV-LIGA以及EFAB技術。其中，著名的表面犧牲層技術，有美國的MEMSCAP工藝以及SUMMiT工藝。

MEMS學科領域

該欄目介紹多種主流的MEMS感測器，包括MEMS壓力感測器、微慣性感測器、MEMS聲學感測器、非製冷EMS紅外熱感測器、光學MEMS/MOEMS、射頻MEMS/RF MEMS、微能源系統、微流控系統、生物MEMS/Bio-MEMS、微型飛行器/微型機器人以及其它利用MEMS技術的感測器件。

MEMS器件設計與仿真

MEMS行業的設計仿真軟體主要有Intellisuite、CoventorWare。

封裝測試

該欄目包括傳統的半導體封裝技術，還包括MEMS封裝、晶圓級封裝以及可靠性測試。

科研輔助

該欄目為為MEMS從業人員和研發人員提供最新的會議會展和技術培訓信息、科研項目申請知道以及項目管理知識。

網站發展歷史

2010年5月，經過近乎半年的調研，MEMST（MEMS技術天地）網站創建；

2011年7月，MEMST（MEMS技術天地）網站與中國微米納米學會合作，成為其下屬的專業MEMS交流論壇。

未來的5-10年中，MEMS技術在中國將有翻天覆地、如火如荼的發展！MEMST（MEMS技術天）也隨之也會發展壯大，希望各位會員也能積極參與MEMS事業中。

MEMS簡介

MEMS是英文Micro-Electro-Mechanical Systems的縮寫，中文名稱是微機電系統技術。因為在各國起源以及發展的側重點不同，尚沒有一致的概念和定義。美國對MEMS技術的研究是在半導體積體電路工藝技術基礎上延伸和拓寬起來的，並且強調融合了微細機械加工技術，故稱之為MEMS，這也是目前廣為使用的稱謂。而在歐洲稱之為Microsystem，更強調系統級的觀點，即將微型化的感測器、執行器、處理電路等元部件集成化為一個智慧型化的有機整體，可以進行信息獲取、處理和執行等功能。

綜合上述兩點，將MEMS技術定義為材料主要為矽、尺度微米級的器件或這些器件的組合，將電子功能與機械特性、光學或者其它功能結合起來的系統。